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RTS-2/RTS-2A型便攜式四探針測試儀

  • 簡單描述
  • RTS-2/RTS-2A型便攜式四探針測試儀是運(yùn)用四探針測量原理的多用途綜合測量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計的，于測量硅晶塊、晶片電阻率及擴(kuò)散層、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜、導(dǎo)電橡膠等材料方塊電阻的小型儀器。
  • 更新時間：  2017-10-11
  • 產(chǎn)品型號：  RTS-2/RTS-2A
詳細(xì)介紹

  RTS-2/RTS-2A型便攜式四探針測試儀是運(yùn)用四探針測量原理的多用途綜合測量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計的，于測量硅晶塊、晶片電阻率及擴(kuò)散層、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜、導(dǎo)電橡膠等材料方塊電阻的小型儀器。

儀器采用了電子技術(shù)進(jìn)行設(shè)計、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數(shù)快、精度高、測量范圍寬、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等特點(diǎn)。如有需要可加配測試臺使用。
    本儀器廣泛應(yīng)用于太陽能單晶（多晶）生產(chǎn)廠家為硅材料的分選測試，半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠、科研單位、高等院校對半導(dǎo)體材料的電阻性能測試。

便攜式四探針測試儀按測量范圍可選配RTS-2型或RTS-2A型，區(qū)別：測量范圍不一樣。

技術(shù)參數(shù)：

 RTS-2測量范圍

 電阻率：0.01～1999.9Ω.cm；  
 方塊電阻：0.1～19999Ω/□； 

 RTS-2A測量范圍

 電阻率：0.001～199.99Ω.cm；  
 方塊電阻：0.01～1999.9Ω/□； 

RTS-2恒流源

 電流量程分為100μA、1mA兩檔，各檔電流連續(xù)可調(diào)

RTS-2A恒流源

 電流量程分為1mA、10mA兩檔，各檔電流連續(xù)可調(diào)

數(shù)字電壓表

 量程及表示形式：000.00～199.99mV；　　　　
 分辨力：10μV；
 輸入阻抗：>1000MΩ；
 精度：±0.1% ；
 顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示；極性、超量程自動顯示；

四探針探頭基本指標(biāo)

 間距：1±0.01mm；
 針間絕緣電阻：≥1000MΩ； 
 機(jī)械游移率：≤0.3%；
 探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm；
 探針壓力：5～16 牛頓(總力)；

四探針探頭應(yīng)用參數(shù)

 (見探頭附帶的合格證)

模擬電阻測量相對誤差
( 按JJG508-87進(jìn)行)

 1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字

整機(jī)測量zui大相對誤差

(用硅標(biāo)樣片：0.01-180Ω.cm測試)≤±5%

整機(jī)測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度

 ≤5%

外型尺寸

 125mm(寬)*145mm(高)*245mm(深)

標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境

 溫度：23±2℃；
 相對濕度：≤65%；
 無高頻干擾；
 無強(qiáng)光直射；
配置

四探針測試儀主機(jī)、FT-202型四探針探頭

4500/套
配置

四探針測試儀主機(jī)、FT-202型四探針探頭、S-2B型測試臺

5800/套

 


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